頻譜儀有三種常用的校準程序：頻率校準、幅度校準和YTF校準。

1、頻率校準

當頻譜儀受到振動、運輸、長期存放或環境溫度變化較大時，頻譜儀的頻率調諧會發生變化，從而導致頻率測量誤差。在嚴重的情況下，被測信號會左右抖動，這可以通過頻率校準來消除。校準過程主要以300MHz信號為參考信號，對光譜儀的掃描時間、中心頻率、跨度(掃頻寬度)、YIG主線圈延遲、次級線圈靈敏度、掃頻靈敏度進行誤差校準，使光譜儀的頻率調諧范圍正常。

校準方法

使用頻率/振幅校準電纜將校準信號(CAL輸出)連接到光譜儀的信號輸入。按[CAL] [CALfreq]進入頻率校準程序。校準完成后，屏幕上出現“CALDONE”消息，按[『cal store 』]鍵將校準數據存儲在儀器的E2PROM中。

2、幅度校準

與頻率校準一樣，當光譜儀測量振幅的精度發生變化時，儀器可以通過振幅校準程序滿足出廠規格。其過程主要是以300MHz信號為參考信號，測量并修正光譜儀的全通道振幅、分辨率帶寬濾波器、對數放大器和輸入衰減器的誤差。

校準方法

使用頻率/振幅校準電纜將校準信號(CAL輸出)連接到光譜儀的信號輸入。按[CAL] [CALAMP]，光譜儀進入振幅校準程序。校準完成后，屏幕上出現“CALDONE”消息，按[『cal store 』]鍵將校準數據存儲在儀器的E2PROM中。

3、預選器的校準(YTF)

預選器的掃頻和跟蹤是頻譜儀諧波帶的關鍵。在該機的設計中，采用了獨立于第一本振的驅動電路來分別校準和驅動各個頻段。當頻譜儀進行快掃、慢掃和跨波段掃頻時，第一振蕩器和預選器的遲滯和延遲得到補償，大大改善了YTF的跟蹤特性。如果頻譜分析儀在諧波頻段有5dB以上的幅度誤差，往往是由于儀器靜置時間長，環境溫度變化大造成的。預選跟蹤器不良會造成幅度測量誤差，甚至沒有信號，因此此時應進行YTF校準。

校準方法

使用YTF校準電纜，并將100MHz梳狀信號連接到頻譜儀的射頻輸入端。按[CAL] [CALYTF]進入YTF校準程序。校準完成后，屏幕上出現“CALDONE”消息，按[『cal store 』]鍵將校準數據存儲在儀器的E2PROM中。如果在退出時出現錯誤信號，或者在校準期間無法完成校準，請按[〔cal fetch]檢索校準數據。此時，儀器需要重新調整和修理。